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在先進半導體制造中，等離子刻蝕設備對結構材料的熱穩定性、尺寸精度和表面質量提出了極高要求 而使用微晶玻璃作為等離子刻蝕腔體可以大幅提升設備的熱穩定性和刻蝕均勻性。微晶玻璃（Zerodur）具備極低的熱膨脹系數，可達（CTE ≈ 0 ± 0.02 &ti
Tag : 等離子刻蝕設備腔體,微晶玻璃腔體,等離子刻蝕設備精密陶瓷組件
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