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隨著5G通信、電動汽車和人工智能計算的快速發展，傳統硅基材料已逐漸逼近其物理極限，寬禁帶半導體材料迎來黃金發展期。其中，碳化硅（SiC）和氮化鋁（AlN）作為兩種重要的化合物半導體，憑
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