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大尺寸氣浮碳化硅陶瓷導軌是什么？ 大尺寸氣浮碳化硅（SiC）陶瓷導軌是用高剛性、高硬度的硅化物陶瓷制成的線性導軌或平面基座，配合氣體靜壓/氣體動壓（氣?。┹S承工作，形成微米級甚至亞微米的無接觸運動平臺，常用于超高精度運動與定位系統（如光刻、檢測與精密量測等）
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